碳化硅悬臂梁是一种经过1850℃高温烧结而成的碳化硅陶瓷制品, 然而高温烧结碳化硅陶瓷是一种特殊陶瓷制品,由细颗粒α-SiC和添加剂压制成素坯,在高温下与液态硅接触,坯体中的碳与渗入的Si反应,生成β-SiC,并与α-SiC相结合,游离硅填充了气孔,从而得到高致密性的陶瓷材料;具备工业陶瓷的各种优越性能。其可以在中等浓度的酸或碱介质中使用。
高温烧结碳化硅陶瓷又称自结合碳化硅陶瓷。典型的高温烧结碳化硅陶瓷制品有已商品化的材料以及硅浸渍烧结碳化硅等。其塑性坯料一般由碳化硅粉(~5μm)、碳或石墨以及塑性剂混合而成,也有用碳化硅粉与塑性烧结剂混合得到。坯料经压制、挤压、注浆或其他成型方法制成素坯。