碳化硅悬臂桨，又称碳化硅桨，是一种经过特殊工艺处理的碳化硅陶瓷制品。它主要由细颗粒α-SiC和添加剂压制成的素坯在高温下与液态硅接触制成，通过素坯中的碳与渗入的Si反应，生成β-SiC，并与α-SiC相结合，游离硅填充了气孔，从而得到高致密性的陶瓷材料。
碳化硅悬臂桨具备工业陶瓷的各种优越性能，如高硬度、高强度、高耐热性、高抗腐蚀性、高导热性和低膨胀系数等特点，使其在多个领域都有广泛应用2。具体来说，碳化硅悬臂桨主要应用于往返式移动器、固定式移动器、高速动力模型、电动汽车等领域，为电动设备提供更快、更稳定和更动力输出和运动效率。
此外，碳化硅悬臂桨还是半导体和太阳能硅片生产合成中不可缺少的载体，用于多晶硅片或单晶硅片在扩散炉内的（扩散）镀膜工艺，在高温环境下承载和运输硅片，是半导体晶圆装载系统的关键部件。
